- Thiết kế hệ thống làm mát bằng không khí, nhỏ gọn, tích hợp OEM dễ dàng. Bộ làm mát bằng nước tùy chọn.
- Độ ổn định chỉ hướng và chất lượng chùm tia cao.
- Bơm đi-ốt AAA™
- Thiết kế bền nhiệt và chịu va đập
- Cơ chế robot phụ trợ, thiết kế đáp ứng tiêu chuẩn phòng sạch và được đệm kín khít
- Vận hành trong nhiều năm mà không cần bảo dưỡng
- Thông số chùm tia tuyệt vời – Khả năng gia công-micro và chất lượng cao; độ chính xác cỡ micromet.
- Độ ổn định công suất cao và mức ồn thấp
- Không tương tác cơ học giữa sản phẩm và thiết bị - Tối thiểu ứng suất và biến dạng - Giảm thiểu các tổn hại đến chi tiết gia công – Có khả năng gia công các vật liệu dễ biến dạng, mỏng, cứng (chẳng hạn như vật liệu gốm, sapphire, bảng mạch dẻo, vv).
- Quy trình gia công được điều khiển hoàn toàn bằng máy tính (khả năng CIM, Quản lí và cung cấp vật liệu đúng thời gian) theo thí nghiệm khoa học tương ứng.